以下是小编整理的源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响，本文共9篇，希望能够帮助到大家。
篇1：源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响
源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWP ECR CVD)方法,使用不同的源气体(CHF3/CH4, CHF3/C2H2, CHF3/C6H6)体系制备了a-C∶F∶H薄膜.由于CH4 ,C2H2 ,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6/CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H, 而用C2H2/CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高, 其相应的'C-F 振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,a-C∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键和其他键结构的关联有关,此外,源气体对薄膜的F/C比和相对介电常量也有重要的影响.
作 者：辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 江美福 许圣华 叶超 黄松 杜伟 作者单位：辛煜,宁兆元,程珊华,江美福,许圣华,叶超,黄松,杜伟(苏州大学物理系,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006)陆新华(苏州大学化学系,分析测试中心,苏州,215006)
刊 名：物理学报 ISTIC SCI PKU英文刊名：ACTA PHYSICA SINICA 年，卷(期)： 51(8) 分类号：O4 关键词：氟化非晶碳膜 电子回旋共振化学气相沉积 红外吸收光谱篇2：ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在 N2气氛中的热退火研究
ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在 N2气氛中的热退火研究
改变CHF3-CH4源气体流量比,使用微波电子回旋共振化学气相沉积方法(ECR-CVD)制备了具有不同C-F键结构的a-C:F:H薄膜,着重研究了退火对其结构的影响.结果显示薄膜的'厚度及其光学带隙E04随退火温度的上升均呈现了不同程度的下降.借助于红外吸收光谱和所提出的热解模型解释了产生这种关系的结构上的根源.
作 者：辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 甘肇强 黄松 作者单位：辛煜,宁兆元,程珊华,甘肇强,黄松(苏州大学物理系薄膜材料实验室,苏州,215006)陆新华(苏州大学化学系,苏州,215006)
刊 名：物理学报 ISTIC SCI PKU英文刊名：ACTA PHYSICA SINICA 年，卷(期)：2002 51(2) 分类号：O4 关键词：电子回旋共振化学气相沉积 红外吸收光谱 热退火 光学带隙篇3：退火对ZnO薄膜结构及发光特性的影响
退火对ZnO薄膜结构及发光特性的影响
生长在蓝宝石C面上的ZnO薄膜是通过等离子体金属有机物化学汽相淀积方法获得的`,由其X光衍射得知,生长过程中分段退火和最后退火在薄膜中分别引入了张应力和压应力.通过对样品光致发光光谱研究表明:分段退火样品在380 nm附近出现了单一激子发射峰,而最后退火样品却出现了与应变有关的Γ?5和Γ?6两激子发射峰,同时在两者的光致发光光谱中与深能级有关的荧光峰都未出现.
作 者：王金忠 杜国同 王新强 闫玮 马燕 姜秀英 杨树人 高鼎三 Liu Xiang Cao Hui Xu Junying CHANG R P H 作者单位：王金忠,杜国同,王新强,闫玮,马燕,姜秀英,杨树人,高鼎三(吉林大学电子工程系光电子联合重点实验室,长春,130023)Liu Xiang,Cao Hui,Xu Junying,CHANG R P H(Material Research Center, Northwestern University, U.S.A.)
刊 名：光学学报 ISTIC EI PKU英文刊名：ACTA OPTICA SINICA 年，卷(期)： 22(2) 分类号：O484.4+1 关键词：等离子体金属有机物化学汽相淀积 半高宽 光致发光光谱篇4：衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响
衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响
将采用直流磁控溅射方法制备的NiTi薄膜沉积在热的衬底上,应用X射线散射和小角X射线散射技术研究了NiTi合金薄膜中生成的`晶化粒子的界面特征和晶粒大小.结果表明:衬底加热可降低薄膜的晶化温度,衬底温度在350℃以上,溅射的NiTi薄膜已部分晶化;衬底温度在350、370℃和420℃溅射的NiTi薄膜,对应的晶化粒子的半径分别是2.40、2.59、2.81 nm;薄膜中的晶化粒子以形核长大的方式进行,结晶粒子与基底之间有清晰的界面.
作 者：李永华 纪红 孟繁玲 邱利霞 郑伟涛 王煜明 作者单位：李永华,孟繁玲,邱利霞,郑伟涛,王煜明(吉林大学,麦克德尔米德实验室材料系,吉林,长春,130023)纪红(吉林大学物理学院,吉林,长春,130023)
刊 名：材料科学与工艺 ISTIC EI PKU英文刊名：MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY 年，卷(期)： 11(3) 分类号：O484.4 关键词：NiTi薄膜 晶化粒子 小角X射线散射篇5：氧分压对ZnO薄膜结构与光学性能的影响
氧分压对ZnO薄膜结构与光学性能的影响
采用直流磁控溅射法在不同氧分压下制备了ZnO薄膜.用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)仪、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对样品进行检测.实验表明,氧分压对ZnO薄膜的结构与光学性能影响很大.在样品的光致发光谱中,均只发现了520 nm附近的绿色发光峰,该峰随着氧分压的增大而增强.不同氧分压制备的.ZnO薄膜中,氧分压为0.25Pa的样品结晶性能最好,透过率最高.
作 者：杨兵初 刘晓艳 高飞 YANG Bing-chu LIU Xiao-yan GAO Fei 作者单位：中南大学,物理科学与技术学院,长沙,410083 刊 名：半导体技术 ISTIC PKU英文刊名：SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY 年，卷(期)： 32(6) 分类号：O484.4 O484.5 关键词：直流磁控溅射 ZnO薄膜 氧分压篇6：深源CO2对沉积盆地油气成藏的影响
深源CO2对沉积盆地油气成藏的影响
深部地壳和沉积盆地中已经有大量深部来源的CO2被发现,这些CO2的存在已经对油气的'成藏产生了重大影响.研究表明,在地质条件下,CO2不仅能与H2发生费托反应生成烃类物质,还可以被Fe2SiO4还原为CH4;地球深部的这些CO2是以超临界状态存在的,这种状态的CO2可以大量吸附和溶解壳幔中分散的有机质,并促使其运移;CO2还能与盆地流体构成酸性介质,溶解盆地中的碳酸盐矿物和铝硅酸盐矿物,显著改善储层物性.加强这方面研究,不仅对于油气的勘探开发有重大指导作用,而且对于油气资源评价也有深远影响.
作 者：刘国勇 金之钧 张刘平Liu Guoyong Jin Zhijun Zhang Liuping 作者单位：刘国勇,Liu Guoyong(中国石油大学盆地与油藏研究中心;教育部“石油天然气成藏机理”重点实验室・中国石油大学)金之钧,Jin Zhijun(教育部“石油天然气成藏机理”重点实验室・中国石油大学;中国石化集团石油勘探开发研究院)
张刘平,Zhang Liuping(中国科学院地质与地球物理研究所)
刊 名：天然气工业 ISTIC PKU英文刊名：NATURAL GAS INDUSTRY 年，卷(期)： 26(11) 分类号：P61 关键词：深源二氧化碳 费托反应 超临界状态 次生孔隙 储集层 物性篇7：深源CO2对沉积盆地油气成藏的影响
二氧化碳与油气的生成
在世界范围内，已经发现了大量高浓度二氧化碳气藏。这些气藏部分来自于地壳岩石或有机质的分解，但更多的是来自于地球深部不断向外排放的二氧化碳。这些有机或无机成因的二氧化碳在大量进入沉积盆地的过程中，必然会与沉积盆地的各种介质接触并发生各种物理和化学反应，从而对油气的成藏造成重大影响。
地球深部排出的二氧化碳在上升的过程中， 可以与氢气（H2）发生著名的费托反应而生成烃类。这种反应说明，在地球内部完全可能因为费托反应的发生而形成大量烃类。地球深部存在大量的富二氧化碳流体和大量的富H流体，并不断向外排放，这为费托反应的发生提供了物质保障。另外，在很多沉积盆地中广泛发育蛇纹石化超基性岩或玄武岩，这些催化剂的存在使得反应的发生成为可能；在断裂发育或深部流体活动频繁的地方，肯定会有大量温度适宜的区域。
除参与费托反应外，在250℃条件下，二氧化碳还可以被Fe2SiO4直接还原为CH4，东营凹陷部分烃类的生成就是这种反应的结果。此外，深部富二氧化碳流体是热能的良好载体，这种流体进入沉积盆地后会为盆地介质提供大量热能，从而促进烃源岩生烃。
世界范围内油气田的分布规律也可以为费托反应的发生提供佐证。世界油气的一半以上与板块俯冲及其相联系的各种断裂有关，而且在这些断裂区域正好是费托反应最可能发生的地方。这一分布规律也提醒我们要充分关注这种生烃机制，这种反应的发生将会极大地拓展油气的勘探领域。
地球内部含有的二氧化碳临界参数相对较低（7.38MPa、31.1℃），大部分二氧化碳以超临界状态存在。这种超临界流体已经作为一种优质的萃取剂，在生物、食品和医药等行业得以广泛应用。超临界状态的二氧化碳还能很快抽提出沉积物中的甾烷、藿烷和芳香烃，对油页岩和煤中的有机质也能进行萃取。地球深部还含有大量分散的烃类，这已经被超深钻的结果所证实，而超临界二氧化碳流体对于分散的有机质具有非凡的富集能力，使得超临界状态深部流体对分散的油气组分具有明显的富集作用，可能会导致无机成因油气藏的出现。例如，在澳大利亚奥特韦（Otway）盆地，发现油气显示的同时也发现的大量高浓度的二氧化碳气田，有学者认为，火山岩浆源的高浓度超临界态二氧化碳对奥特韦和库珀盆地油气的形成可能起着重要作用。
另外，大量的二氧化碳进入沉积盆地，会导致地层流体PH值的降低，从而导致地下碳酸盐矿物和铝硅酸盐矿物的溶解。这类作用也可以使由碳酸岩矿物和铝硅酸盐矿物胶结的砂岩溶解，从而产生大量次生孔隙。这类孔隙的存在可以显著改善储层物性。
二氧化碳与油气开采
国际能源机构评估认为，全世界适合二氧化碳驱油开发的资源约为3000～6000亿桶，二氧化碳驱油是三次采油中最具潜力的提高采收率的方法之一。
二氧化碳驱油，是一种把二氧化碳注入油层中以提高油田采收率的技术。在标准情况下，二氧化碳是一种无色、无味、比空气重、在油和水中溶解度都很高的气体，密度是1.977克/升。当温度压力高于临界点时，二氧化碳的性质发生变化：形态近于液体，黏度近于气体，扩散系数为液体的100倍。这时的二氧化碳是一种很好的溶剂，其溶解性、穿透性均超过水、乙醇、乙醚等有机溶剂。当原油溶于二氧化碳时，可以补充地层能量使原油体积膨胀，黏度下降，还可以降低油水间的界面张力，形成溶解气驱，提高原油流动能力及油藏性质，从而提高油田驱油效率与原油采收率。
1970年，美国开始在德克萨斯州把二氧化碳注入油田作为提高石油采收率（EOR）的一种技术手段，成为应用二氧化碳驱油试验最早、最广泛的国家。现今，二氧化碳驱油已成为美国主要提高采收率的技术。在，全世界二氧化碳驱油项目已达到124个，年耗二氧化碳量2500万吨,每天产油27.4万桶，其中美国实施二氧化碳驱油项目108个，每天产油25万桶。世界上实施的大部分二氧化碳驱项目是混相驱，其中90%以上的项目属美国。美国10个产油区的292个油田采用二氧化碳驱油，采收率可提高7%～15%。到2月，注入二氧化碳已帮助一些成熟油田回收了近15亿桶石油。
我国低渗透油藏现已探明原油储量63.2亿吨，其中尚未动用的储量50%左右，运用二氧化碳驱比水驱有更明显的技术优势。在中国石化“低渗透油藏二氧化碳驱提高采收率”先导试验研究成果的基础上，燃煤发电厂烟气二氧化碳捕集纯化技术利用化学吸收法，将胜利发电厂燃煤烟气中的二氧化碳进行捕集、提纯、液化。该装置运行后，液态二氧化碳日产量达100余吨，全年可捕集、液化二氧化碳达3～4万吨，二氧化碳经处理后纯度达99.5%以上，可全部用于胜利油田开展的“低渗透油藏二氧化碳驱油”重大先导试验。，山东胜利油田建成100万吨/年二氧化碳捕集装置，该装置建成后将成为全球最大的二氧化碳捕集装置，同时利用捕集的二氧化碳驱油，油田的采收率可以提高10至15个百分点，每年预计可减少二氧化碳排放3万多吨。
对于中高渗水驱油藏，也可通过注入二氧化碳进一步提高采收率，中原油田濮城水驱废弃油藏就通过试验二氧化碳驱油再获新生。5月10日，中原油田首次开展二氧化碳吞吐工艺试验，中原油田采油四厂在文88-平1井进行二氧化碳吞吐工艺试验，标志着油田二氧化碳吞吐试验项目进入实施阶段。如果二氧化碳驱油在中原油田高含水油藏中全面推广应用，将覆盖地质储量3亿吨，预计可增加可采储量～3000万吨。
二氧化碳与废弃油藏
国内外的油气盆地勘探开发实践表明，油气藏是封闭条件良好的地下储气库，可以实现二氧化碳的长期埋存；同时，二氧化碳注入油气藏时，还可作为驱油剂显著提高油气采收率。迄今，二氧化碳地质埋存已经在美洲、欧洲、非洲得到实践，在澳洲和亚洲也在研发和计划之中。油藏是二氧化碳地质埋存的最小单元，一个具体油藏是否适合二氧化碳地质埋存，首先要对该油藏所在沉积盆地进行安全评价，接着对其所在油田进行安全评价，最后是油藏方面安全评价。
盆地的温度和压力环境决定了二氧化碳密度的大小，从而会影响盆地的埋存能力。在一般盆地压力体系下，二氧化碳密度最大可达850千克/立方米。一些超压地层在盆地中埋藏较深（一般大于2000米），二氧化碳密度可达1060千克/立方米，但是由于注入成本及安全性，它们并不适合二氧化碳的地质埋存。地热梯度较低的、断裂活动较弱的扩散型大陆边缘盆地具有较好的二氧化碳埋存潜力。较低的地热梯度和地热流值，能使二氧化碳在较小的深度下达到较高的密度，有利于二氧化碳的地质埋存。理想的二氧化碳埋存盆地应该具有地表温度低、地温梯度小、大地热流值小、远离地下热源等特征。储层的深度应满足二氧化碳以超临界状态的形式储存，同时也应考虑注入成本，深度一般应在800～2000米左右。
废弃井是二氧化碳泄露的潜在途径之一。废弃井一般用水泥封堵，而地层中的二氧化碳具有腐蚀性，在一定时期后（20～50年）腐蚀穿过水泥环，从而导致泄露。废弃井的密度越低，二氧化碳泄露的隐患越低。
二氧化碳地质埋存是将二氧化碳注入到地层孔隙中，借助地层的密封性实现温室气体的长期封存。以二氧化碳为驱油剂提高油气采收率不仅可以增加原油可采储量，而且可以实现二氧化碳的长期埋存，是二氧化碳高效利用与埋存的最佳途径之一。
篇8：电沉积条件对ITO/TiO2/CdS薄膜光电性能的影响
电沉积条件对ITO/TiO2/CdS薄膜光电性能的影响
采用电沉积方法,以ITO/TiO2薄膜为基底,在水体系中成功制备出ITO/TiO2/CdS复合半导体薄膜,通过光电流作用谱考查了该薄膜电极的光电性能.实验表明,电镀液的组成、实验温度可影响薄膜中CdS纳米粒子的'生长,从而使不同条件获得的复合薄膜电极的光电转换效率不同,实验温度为40℃、电镀液的组成为CCd2+=0.02 mol・L-1,CS2O23-=0.10 mol・L-1,pH=2.0条件下沉积所得的ITO/TiO2/CdS薄膜电极,在400nm～500nm波长范围内具有较强的光吸收,也有较高的光电转换效率.
作 者：池玉娟 付宏刚 张恒彬 潘凯 齐乐辉 Chi Yu-juan Fu Hong-gang Zhang Heng-bin Pan Kai Qi Le-hui 作者单位：池玉娟,付宏刚,Chi Yu-juan,Fu Hong-gang(哈尔滨工业大学,应用化学系,哈尔滨,150001)张恒彬,潘凯,齐乐辉,Zhang Heng-bin,Pan Kai,Qi Le-hui(黑龙江大学,化学化工与材料学院,哈尔滨,150080)
刊 名：黑龙江大学自然科学学报 ISTIC PKU英文刊名：JOURNAL OF NATURAL SCIENCE OF HEILONGJIANG UNIVERSITY 年，卷(期)： 24(6) 分类号：O644 关键词：电沉积 硫化镉 复合薄膜 光电性能篇9：热处理对氧化钨薄膜结构和电致变色性能的影响
热处理对氧化钨薄膜结构和电致变色性能的影响
电致变色(EC)材料在外加电压作用下能可逆的改变其光学性能.近年来由于其在光调节装置方面的应用潜力,引起了广大研究人员的兴趣.其中氧化钨是典型的电致变色材料.在本文中,电致变色氧化钨薄膜由电子束蒸发WO3粉末的方法沉积在ITO透明导电玻璃上,所得薄膜在空气气氛中经(250～550)℃,(1～4)h不同的.热处理,处理后的薄膜用XRD观察其微观结构的变化,电致变色性能则由电化学方法测试.讨论了热处理温度变化对薄膜结构和电致变色性能的影响.
作 者： 作者单位： 刊 名：真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU英文刊名：JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)：2004 24(z1) 分类号：O484.4 关键词：氧化钨 薄膜 电致变色 热处理★电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响
★农产品需求结构变化对农业产业结构调整的影响--以贵州毕节地区为例
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